基本情報
モデル名：BESTEM-S500
最大12インチウエハー対応のトレイ収納用ダイソーターです。
特長
１．トレイポケット認識搭載により、トレイ配列精度を向上
２．ガラスチップ専用外観検査機能（S300オプション）によりガラス表裏面及び内部の欠陥の判別可能
３．ニードルレスピックアップユニット（オプション）搭載にて薄型チップ対応可能
４．最大12インチウエハ対応を実現
基本仕様
| 接合方式 | 接合なし |
|---|---|
| ボンディングスピード | 0.6sec/cycle ※プロセス時間含まず |
| ボンディング精度 | XY：±38 μm（3σ） θ：±0.5°（3σ）（□2.0 mm以上） ±1.0°（3σ）（□2.0 mm未満） |
| チップサイズ | □1.0～10 mm t：0.1～1.0 mm |
| リードフレームサイズ （基板サイズ） | □2″ トレイフロロウェア相当品：φ50.4 mm □3″ トレイフロロウェア相当品：φ76.2 mm □4″ トレイフロロウェア相当品：φ101.6 mm |
| ウエハサイズ | 最大 φ12インチ |
| 用力 | 電源：AC200V 30A ドライエア：0.4 MPa（60 L/min） 真空源：−66.7 kPa（100 L/min） |
| 装置サイズ | （W）2,060 ×（D）1,525 ×（H）1,680 mm （シグナルタワー含まず、正面カバー閉時） |
| 重量 | 約1,600 kg |
オプション
| オプション機能 | １．ニードルレスピックアップ ２．ガラスチップ外観検査機能 ３．ウエハマッピング |
※1.装置サイズはオプションによって異なる場合がございます。
2.品質規格は対象製品の仕様により変更をお願いする場合がございます。
3.仕様については予告なく変更する場合がありますのであらかじめご了承ください。