【MASS】VQZ-シリーズ 特徴 従来機に対して25~50%の速度改善を達成 駆動部を一新し、最大800mm基板に対応 Full High Definitionカメラによる、1920 X 1080 pixel の広角エリアと高速キャプチャにより高速検査を実現サイドカメラを搭載し通常検査と同時に斜めからの自動検査が可能。(サイドカメラ付きAモデル) カメラ・照明・レンズの組み合わせは、生産工程に合わせて選択 装置仕様