【YAMAHA】YRi-V
特徴
- 超高速3D検査 56.8cm2/sec
- 超高精度3D検査 8方向プロジェクター
- 4方向斜め画像検査 2,000万画素4アングルカメラ
- デバイス検査 超高分解能 5µm/同軸照明
基本仕様
モデル名 | YRi-V | ||
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対象基板寸法 | L610 x W610mm(最大)~L50 x W50mm(最小) ※ L750mm長尺基板対応可能(オプション) |
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基板搬入可能部品高さ | 上面:45mm 下面:85mm(シングルレーン仕様時) | ||
最大3D計測高さ | 25mm | ||
カメラ画素数 | 1,200万画素 | ||
4アングルカメラ画素数 | 2,000万画素 | ||
3D検査速度(最適条件) 4プロジェクション |
12μm解像度仕様 | 7μm解像度仕様 | 5μm解像度仕様 |
56.8cm²/s | 19.6cm²/s | 10.1cm²/s | |
外形寸法 | L1,252 x W1,497 x H1,614mm (突起物を除く) | ||
本体重量 | 約 1,480kg |