フライングプローブテスタ FA1283
高機能ベアボードの電気検査はこの1台で完結する
次世代を狙う最新のベアボードを検査するための機能を集約した1台
精度、スピード、打痕、計測 全てのスペックを追求したフラッグシップフライングプローブテスタ
１μmを追求する
総合プロービング精度 □15μm（FA1971-01実装時）
φ10μmコンタクトを目指した高精度フライングプロービングテスタ
1秒も無駄にしない
１枚目の検査をスムーズに立ち上げ、工数を使わずに検査が終了する事はとても重要です。
現場の環境に合わせた最適な組合せにより、検査工数の削減を実現します。
●テンション機構付きクランプ
●基板の反りや「うねり」を測定し、安定したコンタクトを実現するレーザ基板厚補正ユニット
●クランプできない基板を検査するための静電容量測定用吸着ステージ（オプション）
●オフラインモデルと自動搬送モデルの選択が可能
●複雑な設計でも正確にデータを供給するFEB-LINE検査データ作成システム UA1781
測定を極める
単純な導通絶縁検査から、LSI検査用の高機能測定まで1台に集約
９０万種類の検査を一つの検査データに持たせる事ができるフレキシブルデータ構造のため、導通・絶縁の判定基準の変更だけでなく、４端子計測、部品計測など１本の検査データに全ての検査を含める事が可能です。
高速O/S検査には静電容量プレートをご用意
「電気検査無しに出荷はしない」
基板形状に影響されない静電容量方式O/S 検査を行うためのバキューム吸着ステージ E4001
高速検査基板外形や基板厚に左右されない安定した検査が可能です。検査順（アーム移動距離）の最適化により抵抗検査よりも短時間で検査が終了します。
絶縁検査の品質を向上する
マイクロショートの焼損や検査中のARCなど、検査機の絶縁検査能力はそのまま製品の品質に直結します。
絶縁検査は 100GΩ/10msec の超高速絶縁検査を搭載。
さらにマイクロショート検出をはじめ、ARC検出、両極性検査、インパルス検査など絶縁品質を高いレベルで保証する数々の機能を搭載しています。
導通検査、抵抗測定を極める
４端子低抵抗測定、200 mA導通検査、容量測定O/S検査など、多種のモードから選択可能です。
オープンビアなどによる配線抵抗の上昇を検出するには４端子測定を、最大200 mAの大電流導通検査は実動作に近い環境での保証にお使いいただけます。
抵抗測定は0.1Vの低電圧測定から、ITOなどの抵抗率の高い素材向けの高電圧抵抗測定など、「計測のHIOKI」だからできる測定モードを多数搭載しました。
LCR測定とは一線を画す「内蔵部品測定」
実装基板検査で培った部品計測のノウハウを投入した次世代のベアボード検査装置です。
MLCC計測などの基本的な部品計測に加え、複合回路を測定するガーディング機能、位相分離計測などインサーキットテスタを超える測定機能を搭載しました。
また、LSIの信頼性検査のために、「消費電流検査」「漏れ電流検査」など専用モードを実装。
LCRメータとは違う部品内蔵基板の検査をするための最新機能を搭載しています。
概略仕様
| アーム数 | 4 (上面2, 下面2) | |
| 取付可能プローブ | 1172シリーズ | |
| 検査ステップ数 | 最大900,000ステップ | |
| 検査項目・測定範囲 | 抵抗測定： | 40.00 μΩ〜100.0 MΩ |
| 容量測定： | 10.00 fF〜40.00 mF | |
| インダクタンス測定： | 10.00 μH〜100.0 mH | |
| ダイオードVZ測定： | 0.000 V〜25.00 V | |
| 絶縁測定： | 200.0 Ω〜100.0 GΩ | |
| コンデンサ絶縁測定： | 200.0 Ω〜10.00 MΩ | |
| 高電圧抵抗測定： | 200.0 Ω〜25.00 GΩ | |
| 高電圧ショート測定： | 400.0 mΩ〜400.0 kΩ | |
| 漏れ電流測定： | 100.0 nA〜10.00 mA | |
| ツェナーダイオードVZ測定： | 0.000 V〜25.00 V | |
| デジタルトランジスタ測定： | 0.000 V〜25.00 V | |
| フォトカプラ測定： | 0.000 V〜25.00 V | |
| 導通検査： | 400 mΩ〜1.000 kΩ | |
| オープン測定： | 4.000 Ω〜4.000 MΩ | |
| ショート測定： | 400.0 mΩ〜40.00 kΩ | |
| 直流電圧測定： | 40.00 mV〜25.00 V | |
| 判定範囲 | -99.9%〜+999.9%, または絶対値 | |
| 最小パッドピッチ | 35um(CP1075-09 使用時)(FA1971-01 搭載時) 40um(CP1075-09 使用時) | |
| 最小パッドサイズ | 5um(CP1075-09 使用時)(FA1971-01 搭載時) 10um(CP1075-09 使用時) | |
| 測定スピード | Max. 100 points/s (0.1 mm移動・2アーム同時プロービング, 容量測定時) | |
| 検査可能基板 | 厚さ: 0.1〜2.5 mm, 外形: 50W × 50D〜400W × 330D mm | |
| 最大検査可能エリア | 400W × 324D mm | |
| 基板固定 | 基板２辺チャック方式 (テンション機構付き) | |
| 電源 | AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V単相 (発注時指定) 50/60 Hz, 5 kVA | |
| 寸法・質量 | 1360W × 1200H × 1280D mm (突起物除く), 1100 kg | |