X線透視とPCT（斜めCT）撮影をシームレスに融合
Xslicer SMX-6010は自社製マイクロフォーカスX線発生装置と300万画素のフラットパネル検出器を搭載した縦照射型X線検査装置です。
高精細かつ広ダイナミックレンジ画像で，微細な内部構造や欠陥を観察できます。
また，透視/PCT（斜めCT）をスムーズに切り替えワーク形状に合わせた多様な観察が可能です。
小型化が進む電子部品から高密度，多層化の進む実装基板まで様々なワークの検査をサポートします。
CT撮影の種類・特長
PCT（斜めCT）：標準搭載しているCT機能
X線検出器を斜めに配置し，X線検出器を回転させて透視画像を撮影することで，CT撮影を行います。
XYステージ上にあるワークはX線発生装置に近づけられるため，ワークの幅によらず拡大してPCT撮影が行えます。
PCT（斜めCT）の特長
基板上のワークの場合，ワークの幅に影響される直交CTとは異なり斜めCTでは高倍率撮影が可能です。
VCT（直交CT）：オプション
X線検出器を上方に固定し、ワークを回転させて透視画像を撮影することで、CT撮影を行います。
拡大はワークの幅に依存しますが、X線の照射方向に対し直交した状態で撮影ができます。
CTユニットを透視ステージにセットし、ソフトウェアタブを切り替えるだけで、VCT撮影が可能です。
| サイズ | 基板100 × 150 mm以下 小物ワークΦ50 × 100 mm以下 ※上記サイズ内であっても、ワークの大きさ、撮影位置により、専用チャック等の治具が必要になる場合があります。 |
| 質量 | 200g 以下 |
VCT（直交CT）の特長
PCTは、斜め方向から撮影した画像をもとに画像再構成を行うため、縦断面画像においてその影響がわずかに出ます。
VCTは、X線の照射方向に対し直交した状態で撮影するため、縦断面画像が鮮明になります。
システム構成
保守が容易な自社製X線発生装置と各種安全機構を搭載したシステムにより低コストかつ安全に使用可能
X線発生装置
管電圧160 kV，1 µm分解能 開放型X線発生装置を搭載。
高電圧トランスと一体化を実現し，グリスアップの必要がありません。
フィラメント交換は調整の自動化により，簡略化を実現しています。
※1 µm分解能：JIMA チャート分解による
X線検出器
300万画素のフラットパネル検出器を搭載。
5軸ステージ
ワーク搭載ステージのXYZ軸に加え，検出器が傾動，旋回します。
5軸が連動しあらゆる角度からの検査をサポートします。
X線防護箱
十分にX線を遮へいしています。（外部漏えいX線1 µSv/h 以下）
X線照射中は，正面扉ロック機構により，正面扉が開きません。
また，インターロック機構により扉が開いている状態では5軸ステージは動きません。
衝突検知センサー
X線検出器の周囲に衝突検知センサを搭載しており緊急時（ワーク衝突時）は駆動系を停止させます。
ユーティリティ
AC200 V±10 % 1.5 kVA（接地抵抗100 Ω以下）のみで動作可能です。
エアー，冷却水などの供給は必要ありません。
仕様
| 型名 | Xslicer SMX-6010 |
|---|---|
| 空間分解能 | 1 µm（JIMAチャートを分解） |
| 搭載可能サイズ | 470 mm × 420 mm × 100 mm 最大5 kg |
| 透視検査ストローク | X：460 mm Y：410 mm Z：100 mm 回転±180° 傾動：60° |
| CT撮影範囲 | X：350 mm Y：350 mm |
| ラミノ角（CT撮影角度） | 45°または60° |
| X線出力 | 最大管電圧160 kV 最大管電流100 µA 定格出力16 W |
| 検出器 | フラットパネル検出器 |
| 透視視野（カーボン板上） | （縦）0.75 mm ×（横）1.3 mm～（縦）21 mm ×（横）38 mm |
| CT視野（カーボン板上） | mm ～ 30 mm（ラミノ角45°時）／ 3 mm ～ 14 mm（ラミノ角60°時） |
| 所要電源 | AC200 V±10 % 1.5 kVA（接地抵抗100 Ω以下） |
| 質量 | 約2450 kg |
| 環境条件（運転時） | 周囲温度：15 ℃～ 30 ℃ 周囲湿度：35 % ～ 80 %（結露がないこと） |
| 外部漏えい線量 | 1 µSv/h以下 |