此设备是使用小型电子装置的US焊接（超声波）进行FC接合。
特征・特点
提高超声波效率、使产品能在低温、短时间内接合。从而避免对产品造成机械性热残余压力，进而实现稳定、高质量的焊接。
使用实例
根据零件和产品，可以选择负载/超声波头，并适用于 TCXO、SAW 滤波器、LED、C-MOS 等。
最多可选择处理高达 12 英寸的Wafer。
简易规格表
| 项目 | 内容 | ||
|---|---|---|---|
| 型号 | AFM-15 | ||
| 类型 | 1505 | 1508 | 1562 |
| 接合工法 | 热、超声波 / Heating , ultrasonic | ||
| 适用产品 | LED、TCXO、SAW、RF、MEMS、CMOS 等 | ||
| 适用晶片 | MAX：2.5 W×2.5D×1.0T mmMIN：0.3W×0.3D×0.1Tmm（Option:20.0W×20.0D mm） | MAX：7.0 W×7.0D×1.0T mmMIN：2.5 W×2.5D×0.1Tmm（Option:20.0W×20.0D mm） | |
| 适用基板 | MAX：180W×120D×3.0TmmMIN：50W×50D×0.3Tmm（Option:8inch wefer substrate） | MAX：170W×105D×3.0TmmMIN：50W×50D×0.3Tmm | MAX：180W×120D×3.0TmmMIN：50W×50D×0.3Tmm（Option:12inch wefer substrate） |
| 节拍时间 | 0.78sec/Chip（含0.2秒处理时间）（Including 0.2sec process time) | 0.59sec/Chip（含0.16秒处理时间）（Including 0.16sec process time) | 1.35sec/Chip（含0.4秒处理时间）（Including 0.4sec process time) |
| 安装精度 | ±7μm/3σ (Option:±5μm,±3μm) | ±5μm/3σ (Option:±3μm) | |
| 最大负载 | 25N（选项/Option：50N , 100N ,200N ,500N） | ||
| 晶片供给形态 | 5,6,8,12英寸Wafer等/5″,6″,8″,12″wafew-ring(option:12 wafew-ring ) | 5,6英寸Wafer等/5″,6″wafew-ring | 8,12英寸Wafer等/8″,12″wafew-ring |
| 自动上料收纳盒/Automatic magazine Loader | 自动上料收纳盒/Automatic magazine Loader | 自动上料收纳盒/Automatic magazine Loader | |
| 机器尺寸 | 1,200W×1,504D×1,650H mm | 980W×1,040D×1,860H mm | 1,980W×1,620D×1,566H mm |
| 机器重量 | 約1,800 kg | 約1,500 kg | 約2,100 kg |
| 标准搭载功能 | 预热工作台（加温）/ Preheating table（Warming)安装工作台（加温）/ Mounting table（Warming)吸嘴自动清洁 / Automated mounting nozzle cleaningUS管理 / Ultrasonic power monitoring晶片高度测量 / Chip height measuring凸点检测 / Bump detectionNG标记检测 / Detection of NG markingWaferθ校正 / Adjustment for wafer rotational positionwafer扩展 / Wafer seet expander热吹/ Hot air blower吸嘴背面监视 / Monitorring of mounting nozzle tip condition对应区域网 / LAN connection interface吸嘴使用次数计数器 / frequency counter of use of mounting nozzle管理生产信息 / Production data logging | ||
| 选项及特殊功能 | 上料、卸料用收纳盒 / Magazine , Loader and Unloader除电鼓风机 / Neutralized air blowerHEPA过滤器 / HEPA filter挡案监视器 / Mounting profile monitetor对应晶片托盘 / Compatible with chip supply tray地图数据 / Map data吸嘴加热 / Mounting nozzle heater基板（集成块）特殊抑制/ submount (or package) holder安装检查 / OK/NG judgment安装研磨喷嘴夹具 / Nozzle polishing Jig | ||